製品技術指標

Hi-SMIC-Ⅲ-POレーザー干渉計

主な機能：平面光学素子の表面形状と透過光学素子の総合波面を測定する。

a）タイプ：フィソ干渉原理

b）口径：φ25.4 mm

c）表示方式：CCD＋ディスプレイ

d）光源：半導体レーザー、波長λ=635 nm

e）測定重複性：PVがより優れているλ/50,RMSはλ/100

f）平面精度：PV（平面上の最高点から最低点までの最大の差値はピーク値ともいう）より優れている。λ/20(635 nm/20大体32 nm)

g）本体重量：6.5 KG

h）外形寸法：260×160×330 mm

イ）電源：220 V 50 HZ

j）量子化試験時間：約2～3秒/回

分析システム（ソフトウェア及びコンピュータ）

1、コンピュータ：専用コンピュータ及び10インチ以上の液晶ディスプレイ

2、出力データ：

ピーク値（PV）、標準偏差（RMS）、二次元等値図（等高図）、干渉縞図。

ドメイン値設定（OKまたはNG）、データの保存、プリントテストレポートの出力が可能です。

オープンデータ出力フォーマットは、後続の分析に便利です。

3、測定機能

システムはWINDOWS 7または10の下で動作し、ネットワークデータ転送が可能です。

干渉図の明るさを持つソフトウェア調整機構。

4、位相シフタ補正ソフトウェアを提供し、ユーザは自分で位相シフタの変位誤差を修正することができる。

5、ソフトウェアのアップグレード、メンテナンス、アフターサービスの技術サポート及び使用訓練、ハードウェアの修理を提供する。