一、製品命名規則:
SS-60シリーズの製品は圧倒的に大部分の工場と低いレベルの要求に対して、実験室に配置された低配置のスキャン電子顕微鏡です。シリーズの製品は以下のような構成を含みます。
モデルの命名規則は以下の通りです。
二、簡単な説明:(Description)
(1)zuiの大倍率6万倍(Magnification Max 60,000 x)
(2)二次電子と後方散乱電子二重検出器を採用する(Signal Detector+BSE Detector)
(3)5 KV~30 KV加速電圧選択、画像解像度が高い(Accellerating Voltage:5kV to 30 Kv,High image reolution)
(4)オプションEDSによる元素成分分析(EDS is optional,for component anlysis)
(5)冷却台の設置は、前処理なしで水分サンプリング分析(Installation a cooling Stage,Can mease aqueous samples without pretreat)が可能です。
(6)高/低真空配置短縮前処理(High&Low Vacuum System)
(7)CCDカメラの設置は、載置台内部を観察することができる(The CCDカメラis mounted to view the inside of the stage)
(8)Tilt(0~45)載置台配置(選択可能)(Tilt Stage configration)
三、技術パラメータ:(Product specification)
分辨率(Resolution)
| 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率(Magnification) | 30x~60,000x |
加速電圧(Accelerating Voltage) | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
画像検出 (Signal Detection)`
| 二次電子画像-(SEI)-Secondary Electron Image |
後方散乱電子画像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
観察モード Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子銃システム(Electron Gun) | |
フィラメントタイプ(Filament type) | 前対中タングステンフィラメント(Pre Centered tungsten filament Cartridge) |
偏压系统(Bias voltage system) | 自動バイアス方式(Automatic mode) |
電子銃の校正 (Electron gun alignment) | 手動モード(Manual mode) |
レンズ構成(Lens system) | |
集光鏡(Focus Lens) | 2段式磁気コイルレンズ (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物镜(Objective Lens) | 1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
検出器タイプ(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
荷物台システム Stage System) | Auto or Mauanl |
载物台移动(Stage Traverse) | 3轴操控3 axis System, X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
サンプル最大サイズ (Max Sample size) | 高さ30 mm時最大直径70 mm、70mm in diameter, 30mm in height |
画像スキャン (Image Scanning system) | クイック描画 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速画 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
画像モード1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自動機能 (Automatic Function) | 自動起動(Auto start)、オートフォーカス(Auto focus)、自動輝度コントラスト調整(Auto Brightnes/Contrast) |
画像保存フォーマット(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
データ表示(Data display) | 拡大倍率(Magnification)、検出器タイプ(Detector type)、電圧(Accellerating Voltage)、真空モード(Vacuum mode),Logo(Text), Date and time,Text marker,比例尺(scale bar) 等 |
真空システム(Vacuum system) | 全自動タイプ/高真空モード+低真空モード(Fully Automatic Multi mode) ( ロータリーポンプ)Rotary Pump/100 Liters/min (ターボ式分子ポンプ) Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间(pump down time):2分钟以内 (less than 2 minutes) |
コントロールシステム(Control unit system) | マウスとキーボード(Mouse ,Keyboard) |
CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | |
ソフトウェア(Software function) | 画像ファイルを開く、編集する、記憶する機能(Image file open, edit, Save function) 长度,面积,角度等测量功能(Length, area, angle measuring) |
体積( Volume) | デバイス本体(Main Unit)-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set お客様の実際の状況に応じて使用します。Anti vabration Table |
重さ(Weight) | 105kg |
デバイス環境 (Equipment environment) | 温(Temperature):15℃~30℃ 電源(Power source): Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
四、サンプル検査結果
私たちは実験室で廃棄した不良品のねじを使って、サンプルとして実際にテストしました。写真は以下の通りです。
ねじ、47倍、30 kV、SE探知機、高真空モードを拡大します。
ナット部分は、100倍、10 kV、SE検出器、高真空モードを拡大します。
ねじ、47倍、30 kV、SE探知機、高真空モードを拡大します。
ナット部分は、100倍、10 kV、SE検出器、高真空モードを拡大します。
ねじ歯の部分は100倍、10 kV、SE探知機、高真空モードに拡大します。
ねじ山の底の部分は、500倍、10 kV、SE検出器、高真空モードを拡大します。
五、アタッチメントバッグ(Accessories package):
前対中タングステンフィラメント Pre Centered tungsten filament | 5 pcs/box |
荷物置き場(Sample Stage)
| 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) | |
15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
15mm 90° Tilt (5pcs) | |
真空潤滑油(Vacuum pump oil) | 1ea |
高さ基準モジュール(Height standard master) | 1ea |
6角レンチ(allen wrench) | 1set |
スキャン電子顕微鏡ソフトウェア修復用CD (SEM Software CD) | 1ea |
銀ペースト(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳导电胶带(Carbon conductive tape) | 1roll |
はさみ(scissors) | 1ea |
耳球を洗う(aurilave) | 1ea |
ピンセット(tweezers) | 1ea |
ツールボックス(Tools Box) | 1ea |